步步為營
用來製造集成電路的尼康光刻機噸位十足、非常敏感而且價值不菲,運送它時要小心翼翼,絕對是項艱鉅的任務
01 Jul 2016
来源: Bay Leung

高科技器材的核心都有晶片,光刻機就是廠商製造晶片上集成電路的機器。光刻機使用光刻技術,利用光線將微細電路的紋路「刻印」至多組矽晶圓上,工序精確,須於無塵實驗室中進行。

他跟影像放大器類似,其鏡頭功能強勁、敏感度高,能將紋路呈現在晶圓上。這個工序完結後,未被照射的區域會被顯影劑溶解,過程就如沖洗相片一樣,只是成品是立體的晶圓。晶圓經清潔後,再次塗上一層阻光劑。然後再放進光刻機,逐層、逐步重覆流程,製造出微小的集成電路。

與一般電子器材不同,光刻機是逐台訂製。由於造價極高,因此尼康等生產商只會在收到集成電路生產商的訂單時,才會開始為客戶製造光刻機。從接到訂單到出貨,整個過程可能需時數年之久。我們在此解構流程中的每個步驟。

 

来源: Bay Leung

運輸前的準備:

尼康的技師先在無塵室將光刻機分拆、包裝妥當,準備空運。雖然光刻機已經按部件分拆,但主體仍然重達十噸。技師將所有部件仔細包裝好,確保它們不會受潮或受震。

 

運往機場:

以恆溫拖車將包裝好的光刻機運送到東京成田國際機場。貨車亦有特別設計的避震裝置,減低這部敏感機器於運送途中受損的機會。

 

来源: Bay Leung

機場的流程: 

凌晨4時開始將光刻機從恆溫拖車卸下,並放進空運集裝箱中。國泰航空針對運送光刻機訂立了一套嚴格的標準作業程序,當中涵蓋儲存溫度,以及清晰標示易損貨物及處理方法(例如叉車運送的最高時速5公里)等。

 

来源: Bay Leung

登機及機上旅程:

光刻機通常於早上8時20分運上B747貨機。貨機上,機艙的溫度定於攝氏23度。尼康會定期與航空公司舉行例會,講解運送光刻機的注意事項。國泰航空是業界僅四家獲認可運送光刻機的航空公司之一。

 

来源: Bay Leung

轉運前在香港存放:

貨機抵達香港後,立即送往國泰航空貨運站專為存放光刻機而設的「光刻機儲存室」。當貨機準備前往目的國家時,工作人員會從儲存室將光刻機運載至貨機,展開下一段航程。

 

来源: Bay Leung

抵達最終目的地機場:

光刻機送抵目的地機場後,為將運送風險降至最低,收貨人會請求當地機場准許恆溫拖車駛至停機坪;最好可停至貨機旁邊,以減少從貨機卸貨和拖車之間的距離。

 

来源: Bay Leung

最後運送:

將所有部件運上拖車後,拖車將前往收貨人工廠。到達工廠後,載有光刻機的貨櫃將送往無塵室,由尼康的工程師團隊拆除包裝及組裝。完成後,光刻機就可以生產集成電路。

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